Другие журналы
|
Шишлов Андрей Владимирович
Анализ распределения толщины тонкопленочного покрытия при магнетронном напылении на установках с планетарным перемещением подложки
Инженерное образование # 11, ноябрь 2014 DOI: 10.7463/1114.0733662 С. 458-481
|
|
|||||||||||||||||||
|