Рассмотрен процесс реактивного напыления плёнки оксида алюминия на стеклянную подложку. Получены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда при различных парциальных составах газовой смеси. Определён наиболее оптимальный режим горения магнетронного разряда для реактивного напыления оксида алюминия.