Исследование способов создания конденсаторов в технологии КНИ
Молодежный научно-технический вестник # 10, октябрь 2012
УДК: 00
В статье изложены результаты исследования по созданию конденсаторов в технологии КНИ, а также приводятся результаты измерения тестовых структур разной геометрии, изготовленных по технологии 0,35мкм КНИ.