Моделирование hemt-транзистора в программном комплексе tcad sentaurus
Молодежный научно-технический вестник # 09, сентябрь 2012
УДК: 00
В статье рассматриваются вопросы моделирования генераторного СВЧ-транзистора, изготовленного на основе псевдоморфной гетероструктуры. Подробно исследовано моделирование технологического процесса изготовления транзистора и создание комплекта фотошаблонов в TCAD Sentaurus. В заключении описаны последующие этапы работы.