Козлов Д. В.

В статье представлены результаты исследования динамических характеристик теплового микро актюатора. Проведены испытания по определению зависимости температуры на поверхности устройства и деформационных характеристик во времени при различных электрических напряжениях, подаваемых на испытуемый образец. Исследована способность актюатора выдерживать длительные нагрузки и стабильность его параметров.

В статье представлены результаты исследования работы микроэлектромеханического актюатора. Рассмотрена возможность применения этого устройства в различных областях науки и техники