Юрченко Павел Игоревич

Приводятся модель и результаты исследования формирования островковых наноструктур в вакууме методом термического испарения. Представлены экспериментальный стенд и методика контроля роста островковых наноструктур в процессе нанесения. Показаны зависимости размеров островковых наноструктур от технологических параметров нанесения