Козинцев Валентин Иванович

            Статья посвящена разработке лазерного метода измерения толщины и показателя преломления прозрачных нанопленок на подложке. Показано, что метод, основанный на определении первой производной коэффициента отражения, позволяет определятьс небольшими (единицы процентов) погрешностями толщину и показатель преломления пленки при погрешностях измерения коэффициента отражения и его первой производной 0.3 % в широком диапазоне показателей преломления (~ 3…7 и более) и толщин (~ 10…100 нм и более)  пленок.