Другие журналы
|
электронный журналМОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИКИздатель Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова. Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609
Оптимизация кинематических режимов магнетронного напыления на основе расчета неравномерности покрытия
Молодежный научно-технический вестник # 06, июнь 2015 УДК: 621.793
Файл статьи:
Демидов П.С..pdf
(7224.85Кб)
1. Кузьмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киров: Аверс, 2008. 244 с. 2. Сагателян Г.Р., Шишлов А.В. Анализ распределения толщины тонкопленочного покрытия при магнетронном напылении на установках с планетарным перемещением подложки // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2014. № 11. DOI: 10.7463/1114.0733662. 3. Федотов А.В., Агабеков Ю.А., Мачкин В.П. Многофункциональные нанокомпозитные покрытия. // Наноиндустрия. 2008. № 1. С. 24–26. 4. Никоненко В.А. Математическое моделирование технологических процессов: Моделирование в среде MathCAD. Практикум / под ред. Г.Д. Кузнецова. М.: МИСИС, 2001. 48 с. 5. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с. Публикации с ключевыми словами: металлизация, оптимизация, магнетронное напыление, вакуумные установки Публикации со словами: металлизация, оптимизация, магнетронное напыление, вакуумные установки Смотри также:
Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|