ИНЖЕНЕРНЫЙ ВЕСТНИК

УДК 621.923.74.

Россия,  МГТУ им. Н.Э. Баумана

iidanilov@mail.ru

Приводятся сведения о применении технологии интегральных микросхем (ИМС) при изготовлении МЭМС. Исследована возможность применения существующего для сварки ИМС оборудования в производстве МЭМС. Определены форма и материалы деталей МЭМС для исследования процесса их точечной контактной сварки, предполагая подобие конструкций МЭМС существующим приборам. Приводятся результаты анализа процесса сварки деталей МЭМС на оборудовании для сварки ИМС. Определены отдельные требования к оборудованию для сварки деталей МЭМС. Отдельные виды сварочных работ для МЭМС возможно выполнять на оборудовании, разработанном для ИМС.

Список литературы.

1. В. Варадан, К. Виной, К. Джозе. ВЧ МЭМС и их применение. Москва: Техносфера, 2004. 528 с.

2. Технология материалов в приборостроении. Под  ред. А.Н. Малова. Москва: Машиностроение, 1969. 442 с.

3. Справочник по сварке. Том 4. Под ред. А.И. Акулова. Москва: Машиностроение, 1971. 416 с.