Другие журналы

электронный научно-технический журнал

ИНЖЕНЕРНЫЙ ВЕСТНИК

Издатель: Общероссийская общественная организация "Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова".

77-48211/483344 Двустороннее полирование подложек в производстве интегральных микросхем

Инженерный вестник # 06, июнь 2012
Файл статьи: Данилов_Р.pdf (493.46Кб)
автор: Данилов И. И.

УДК 621.923.74.

Россия,  МГТУ им. Н.Э. Баумана

iidanilov@mail.ru

 

Дан анализ вариантов технологий производства подложек интегральных схем. Предложена методика расчета параметров процесса полирования подложек. Методика учитывает основные факторы технологии. Показано, что полирование может исправлять некоторые погрешности подложек. Определены связи между конструкцией технологического оборудования и параметрами точности изделий. Предложены математические модели процесса полирования подложек, которые учитывают свойства инструмента, полирующих суспензий, скорость движения инструмента, рабочее давление, точность заготовок и другие факторы.

 

СПИСОК  ЛИТЕРАТУРЫ

 

1.     Проников А.С. Надежность машин. – М.: Машиностроение, 1978. 592 с.

2.     Тимошенко С.П., Гудьер Д. Теория упругости. Изд.2-е. М.: Наука, 1979. 560 с.


Тематические рубрики:
Поделиться:
 
ПОИСК
 
elibrary crossref neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (499) 263-69-71
  RSS
© 2003-2024 «Инженерный вестник» Тел.: +7 (499) 263-69-71