Другие журналы
|
электронный научно-технический журналИНЖЕНЕРНЫЙ ВЕСТНИКИздатель: Общероссийская общественная организация "Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова".
77-48211/483344 Двустороннее полирование подложек в производстве интегральных микросхем
Инженерный вестник # 06, июнь 2012
Файл статьи:
Данилов_Р.pdf
(493.46Кб)
УДК 621.923.74. Россия, МГТУ им. Н.Э. Баумана
Дан анализ вариантов технологий производства подложек интегральных схем. Предложена методика расчета параметров процесса полирования подложек. Методика учитывает основные факторы технологии. Показано, что полирование может исправлять некоторые погрешности подложек. Определены связи между конструкцией технологического оборудования и параметрами точности изделий. Предложены математические модели процесса полирования подложек, которые учитывают свойства инструмента, полирующих суспензий, скорость движения инструмента, рабочее давление, точность заготовок и другие факторы.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Проников А.С. Надежность машин. – М.: Машиностроение, 1978. 592 с. 2. Тимошенко С.П., Гудьер Д. Теория упругости. Изд.2-е. М.: Наука, 1979. 560 с. Публикации с ключевыми словами: инструмент, полирование, математическая модель, методика расчета, погрешности, интегральная микросхема, подложка Публикации со словами: инструмент, полирование, математическая модель, методика расчета, погрешности, интегральная микросхема, подложка Смотри также: Тематические рубрики: Поделиться:
|
|
|||||||||||||||||||
|