Яшков Максим Петрович

Работа посвящена обзору и исследованию медной технологии металлизации межслойных переходов по методу дамаскирования и двойного дамаскирования. Смысл технологии заключается в нанесении тонкого слоя медного фоторезиста в атмосфере анизотропного травления в межслойном переходе и последующей обработки поверхности. В данной работе проведен обзор и анализ двух самых распространенных методов металлизации межслойных переходов, сравнение их между собой и рассмотрены процессы, происходящие при коммутации слоев. Были поэтапно рассмотрены все технологические переходы в типовых процессах технологии одиночного и двойного дамаскирования, все физические характеристики, влияющие на формирование межслойных переходов, а так же сделаны выводы по соответствующим результатам анализа наиболее распространненых методов металлизации межслойных переходов.