Цепулин Владимир Германович

В статье рассматривается метод определения толщины, показателя преломления и коэффициента экстинкции тонкой пленки. Представлена математическая модель для теоретического расчета коэффициента отражения, обобщены случаи металлической и диэлектрической пленок. Предложен подход к решению обратной задачи – нахождению толщины пленки по измеренным значениям спектрального коэффициента отражения. Проведена проверка модели на примере пленки оксида индия-олова (ITO),  найдена ее толщина, спектральные зависимости показателя преломления материала и коэффициента экстинкции.

В работе предложен способ повышения контраста изображений структурированных плёночных покрытий с использованием двух эффектов – эффекта Брюстера и интерференции в тонких плёнках. Приведена формула расчёта длины волны источника излучения, на которой обеспечивается самый высокий контраст. Выполнен расчёт лучшей длины волны для наблюдения структур оксида индия-олова (ITO). Результаты расчётов подтверждены экспериментально.