Барышева Дарья Валерьевна

С. 842-857

В статье рассматриваются вопросы создания имитационной модели нового класса чувствительных элементов микроэлектромеханических матричных приемников электромагнитного излучения, чувствительных в терагерцовой области электромагнитного спектра. Методом конечных элементов были решены последовательно температурная задача и задача определения напряженно-деформированного состояния. Также был проведен анализ температурных полей и полей перемещений конструкции с целью подбора оптимальных параметров обеспечивающих высокую чувствительность приемника и малое время переходного процесса при соблюдении технологических ограничений.